[나노신소재공학과] Atomic Layer Deposition of high-k SrTiO3 Thin Films 강연

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  • 블랙보드를 통한 온라인 세미나
나노신소재 분야의 산학연 전문가들을 초청하여 관련 연구 및 산업을 학생들에게 소개하고 관련 분야의 진학, 취업, 창업을 유도하는 프로그램임.
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세부내용

특강주제 : Atomic Layer Deposition of high-k SrTiO3 Thin Films


특강일시 : 2022.5.5. 16:30 ~ 2022.5.5. 19:30


특강장소 : 블랙보드를 통한 온라인 세미나


특강강사 : 이웅규 교수님 (명지대학교)


특강목적 및 기대효과 : ZrO2계 유전체는 오래전부터 DRAM(Dynamic Random Access Memory)의 커패시터에 사용되어 왔습니다. 그러나 장치를 추가로 확장하려면 기본 작업 메모리로 정상 작동을 위한 특정 커패시턴스를 유지하면서 셀 크기를 줄이기 위해 더 높은 유전율 재료가 필요합니다. SrTiO3(STO)는 높은 커패시턴스를 위한 높은 유전 상수와 낮은 누설 전류를 위한 허용 가능한 에너지 밴드갭으로 인해 차세대 유전체로 주목받고 있습니다. 그러나 우수한 전기적 특성과 우수한 성장 거동을 모두 쉽게 달성할 수 없습니다. 여기에서는 원자층 증착 기술에 의해 달성된 STO 필름에 대한 최근 연구를 살펴봅니다.


신청방법 : 세종대학교 두드림(do.sejong.ac.kr)


신청기간 : 2022. 4. 29. 10:00~ 2022. 5. 5. 15:00


신청대상 : 전체단과대학 학생

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